EP0373550A3 - Flugzeit(massen)spektrometer mit hoher Auflösung und Transmission - Google Patents

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EP0373550A3
EP0373550A3 EP19890122805 EP89122805A EP0373550A3 EP 0373550 A3 EP0373550 A3 EP 0373550A3 EP 19890122805 EP19890122805 EP 19890122805 EP 89122805 A EP89122805 A EP 89122805A EP 0373550 A3 EP0373550 A3 EP 0373550A3
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    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34—Dynamic spectrometers
    • H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
    • H01J49/403—Time-of-flight spectrometers characterised by the acceleration optics and/or the extraction fields

Abstract

Ein Flugzeit(massen)spektrometer hoher Empfindlichkeit und Auflösung wird mit einer Ionenquelle (für einen gepulsten Ionenstrahl) vorgesehen, die in Flugrichtung anstelle sonst üblicher Gitter eine Serie von paral­ lelen Lochelektroden mit einer strahlbündelnden, raumfokussierenden Potentialverteilung aufweist. Eine Minimierung der chromatischen Aberration wird dabei durch eine Potentialverteilung erreicht, deren erste Ableitung in Achsrichtung zumindest zwei Null-Werte durchläuft. Vorzugsweise umfaßt der für die Geschwin­ digkeitsfokussierung wichtige Reflektor ebenfalls eine Folge von Lochelektroden anstelle sonst üblicher Gitter. Als Detektor dient insbesondere ein Kanal­ plattendetektor mit Justierungsmitteln für Position und Winkel der Einfallsfläche relativ zum Strahl.
EP19890122805 1988-12-14 1989-12-11 Flugzeit(massen)spektrometer mit hoher Auflösung und Transmission Withdrawn EP0373550A3 (de)

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